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步進(jìn)式Stepper光刻機(jī)

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基礎(chǔ)信息

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代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

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詳細(xì)介紹

v 解像力:350nm

v 投影倍率:1:5

v 市場(chǎng)尺寸:20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

v 光源:i-Line 365nm

v 掩膜版尺寸:5inch/6inch(可選)

v 晶圓尺寸:50mm2inch/75mm3inch/100mm4inch/150mm6inch/200mm8inch)(可選)

v 套刻精度:40nm

v 設(shè)備尺寸:(W1900*D2600*H2450mm


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