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Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機(jī)

簡要描述：CanonFPA5000ES31

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

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產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

Canon FPA5000 ES3

1.Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機(jī)

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.18µm

主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.18µm

N.A.0.6-0.73

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場26mm*33mm

對(duì)準(zhǔn)精度35nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及6"、 8"、12"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材

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