產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類
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一、產(chǎn)品介紹
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
u 遠(yuǎn)程等離子清洗源
u 清洗快速、高效
u 低轟擊損傷
三、技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)， |
遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
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