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等離子去膠機

簡要描述:一、產(chǎn)品介紹CIF推出等離子去膠機,采用電感耦合各向同性(各個方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體去膠

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

398
詳細介紹

一、產(chǎn)品介紹

CIF推出等離子去膠機,采用電感耦合各向同性(各個方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,漂亮大氣,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計,使得處理樣品量更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡便,性價比更高,使用成本更低,實用性更強,更容易維護。特別適合于大學(xué),科研院所和微電子、半導(dǎo)體企業(yè)實驗室,對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基樹脂、MEMS制造過程中犧牲層,干刻或濕刻處理前或后,對基材進行聚合物剝離、金屬剝離、掩膜材料等光刻膠去除,以及晶圓表面預(yù)處理等。

二、產(chǎn)品特點

u PLC工控機控制整個去膠過程,手動、自動兩種工作模式。

u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機器運行、停止提示。

u 石英真空倉,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

u 可選用石英舟,更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。

u 有效處理面積大,可處理直徑200mm晶元硅片。

u 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

u 采用防腐數(shù)字流量計實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),氣體分配均勻??奢斎?/span>氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。

u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

u 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。

u 樣品處理溫度,熱損傷和熱氧化

u 安全保護,倉門打開,自動關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號

SPB5

SPB5plus

艙體尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

艙體容積

3.8L

3.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電感耦合

電感耦合

射頻功率

10-300W可調(diào)

10-300W可調(diào)(可選10-600W)

處理尺寸

Φ150m

Φ150m

氣體控制

質(zhì)量流量計(MFC)(標(biāo)配單路,可選雙路)流量范圍0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合氣體等(可選)

時間設(shè)定

1-99分59秒

真空泵

抽速約8m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

極限真空

1Pa

AC220V 50-60Hz,所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

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