產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類(lèi)
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v 適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤(pán)
v 自動(dòng)滴膠功能
v 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗、控溫等功能模塊個(gè)性化定制
v 轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm
v 轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
v 加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s
v 單步時(shí)長(zhǎng)：3000s
v 時(shí)間分辨率：0.1s
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